来源：孙博发稿时间：2017-09-13浏览次数：186
学科团队负责人：刘向军
学科介绍：微纳机电系统（Micro/Nano Electromechanical System）是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源、微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。本学科是以机、电技术，尤其是微机械为基础的，综合多种学科技术的新型交叉学科。学科团队，一方面致力于培养从事微纳机电系统设计、制造、工艺、测试以及基础理论等方面的人才，同时着重开展微纳机电系统相关的核心技术与应用的研究。